技术文章
GB/T 46697-2025 电子级八甲基环四硅氧烷
领域
本文件划定了半导体行业用电子级八甲基环四硅氧烷的技术要求、检验规定、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全忠告的要求，，， ，，描述了对应的检测步骤。。。。。。。 。
本文件合用于沉积氧化硅、碳氧掺杂硅、碳化硅等硅基膜的电子级八甲基环四硅氧烷，，， ，，以其优异的绝缘性和耐高温性在半导体领域用作封装隔离层、集成电路绝缘层和介电层等。。。。。。。 。
术语和界说
本文件没有必要界定的术语和界说。。。。。。。 。
技术要求
电子级八甲基环四硅氧烷应切合表1的划定。。。。。。。 。|
检测步骤
水分含量的测定
所用微量水分测定仪应切合 GB/T 26793 划定，，， ，，测定步骤应按 GB/T 6324.8 中的划定执行。。。。。。。 。
可选取其他等效的步骤测定八甲基环四硅氧烷中水含量。。。。。。。 。当测定了局有异议时，，， ，，以 GB/T 6324.8 划定的步骤为仲裁步骤。。。。。。。 。
GB/T 26793-2011 库仑法微量水分测定仪
GB/T 6324.8-2014 有机化工产品试验步骤 第8部门: 液体产品水分测定 卡尔·费休库仑电量法
京都电子KEM 卡尔费休库仑电量法水分测定仪 MKC-710S
http://www.kem-china.com/index.php?_m=mod_product&_a=view&p_id=1000
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