GB/T 30901-2025 高纯氟化铵溶液

领域
本文件划定了高纯氟化铵溶液的分类、要求、试验步骤、检验规定、标志和随行文件、包装、运输和贮存。。。。。。。。
本文件合用于高纯氟化铵溶液。。。。。。。。
注：该产品重要利用于太阳能光伏电池、集成电路和超大规模集成电路芯片的洗濯、蚀刻等行业。。。。。。。。

术语和界说
本文件没有必要界定的术语和界说。。。。。。。。

分子式和相对分子质量
分子式：NH₄F。。。。。。。。
相对分子质量：37.04(按2022年国际相对原子质量)。。。。。。。。

分类
高纯氟化铵溶液按用处罚为5个等级：
a) EL级：重要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件等的造作；；；；；；
b) UP级：重要用于线宽为0.8μm~1.2μm集成电路的洗濯与蚀刻；；；；；；
c) UP-S级：重要用于线宽为0.2μm~0.8μm集成电路的洗濯与蚀刻；；；；；；
d) UP-SS级：重要用于线宽为0.09μm~0.2μm集成电路的洗濯与蚀刻；；；；；；
e) UP-SSS级：重要用于线宽幼于0.09μm集成电路的洗濯与蚀刻。。。。。。。。

要求
表观：无色通明液体。。。。。。。。
高纯氟化铵溶液按本文件划定的试验步骤检测应切合表1的划定。。。。。。。。




试验步骤
氟化铵含量的测定
道理
使用电位滴定法测定氟化铵含量，，，，，，电极与试样溶液组成一个工作电池，，，，，，用氢氧化钠尺度滴定溶液滴定。。。。。。。。在滴定终点左近，，，，，，氢离子(H⁺)浓度产生突变，，，，，，引起电极电位的突跃，，，，，，凭据突跃确定滴定终点。。。。。。。。

试剂和资料
氢氧化钠尺度滴定溶液：c(NaOH)≈1.0mol/L。。。。。。。。

仪器设备
自动电位滴定仪：切合 JJG 814-2015 划定的0.1级别要求，，，，，，并配有复合pH电极。。。。。。。。

试验步骤
在带盖的150mL塑料烧杯中参与约60mL水，，，，，，称量，，，，，，用塑料管参与1.5g~2.5g试样，，，，，，再称量，，，，，，2次称量均精确至0.0002g，，，，，，差减推算所称取试样的质量。。。。。。。。用水冲刷烧杯壁加水至70mL~80mL，，，，，，将烧杯置于自动电位滴定仪的滴定台上，，，，，，将电极和滴定头浸入液面以下。。。。。。。。按仪器操作要求将自动电位滴定仪调试至最佳工作状态，，，，，，开启搅拌并用氢氧化钠尺度滴定溶液进行滴定，，，，，，纪录每个滴定终点亏损氢氧化钠尺度滴定溶液的体积。。。。。。。。
滴定终点的情况分为以下2种：
a) 出现2个滴定终点时(滴定曲线见教例1)，，，，，，别离纪录第1滴定终点亏损的体积(V₁)和第2滴定终点亏损的体积(V₂)；；；；；；
b) 只出现1个滴定终点时(滴定曲线见教例2)，，，，，，纪录这个滴定终点亏损的体积(V)。。。。。。。。
示例1：

示例2：


试验数据处置
出现2个滴定终点时氟化铵含量的推算
氟化铵含量以氟化铵(NH₄F)的质量分数ω₁计，，，，，，按公式(1)推算：

式中：
V₂——第2滴定终点所亏损氢氧化钠尺度滴定溶液的体积的数值，，，，，，单元为毫升(mL)；；；；；；
V₁——第1滴定终点所亏损氢氧化钠尺度滴定溶液的体积的数值，，，，，，单元为毫升(mL)；；；；；；
c ——氢氧化钠尺度滴定溶液浓度的正确数值，，，，，，单元为摩尔每升(mol/L)；；；；；；
M ——氟化铵(NH₄F)摩尔质量的数值，，，，，，单元为克每摩尔(g/mol)(M=37.04)；；；；；；
m ——试料的质量的数值，，，，，，单元为克(g)。。。。。。。。
取平行测定了局的算术均匀值为测定了局，，，，，，两次平行测定了局的绝对差值不大于0.1%。。。。。。。。
出现1个滴定终点时氟化铵含量的推算
氟化铵含量以氟化铵(NH₄F)的质量分数ω₁计，，，，，，按公式(2)推算：

式中：
V ——滴定所亏损氢氧化钠尺度滴定溶液的体积的数值，，，，，，单元为毫升(mL)；；；；；；
c ——氢氧化钠尺度滴定溶液浓度的正确数值，，，，，，单元为摩尔每升(mol/L)；；；；；；
M ——氟化铵(NH₄F)的摩尔质量的数值，，，，，，单元为克每摩尔(g/mol)(M=37.04)；；；；；；
m ——试料的质量的数值，，，，，，单元为克(g)。。。。。。。。
取平行测定了局的算术均匀值为测定了局，，，，，，两次平行测定了局的绝对差值不大于0.1%。。。。。。。。


京都电子KEM 自动电位滴定仪 AT-710S
http://www.kem-china.com/index.php?_m=mod_product&_a=view&p_id=994