T/FJAS 003-2024 湿电子化学品 再生铝蚀刻液

领域
本文件划定了再生铝蚀刻液的技术要求、试验步骤、检验规定和标志、包装、运输、贮存。。。。。。
本文件合用于以湿电子化学品格业含铝蚀刻液回收液为原料，，，，，，，，经过提纯的铝蚀刻液再出产品(以下简称产品)，，，，，，，，重要用于显示面板造作行业等。。。。。。

术语和界说
下列术语和界说合用于本文件。。。。。。
湿电子化学品  wet chemicals
湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，，，，，，，，是微电子、光电子湿法工艺(重要蕴含湿法刻蚀、洗濯、显影、剥离等环节)中使用的各类液体化工资料。。。。。。
铝蚀刻液  aluminum etch
是指一种利用酸类侵蚀剂刻蚀铝及铝合金金属表表的液体资料，，，，，，，，重要成分蕴含磷酸、硝酸、醋酸、水等。。。。。。
回收液  Iiquid recycIing
重要成分是磷酸、硝酸、醋酸、水及少量的金属杂质等。。。。。。

技术要求
产品技术要求应切合表1的划定：


试验步骤
纯度测定
仪器
自动电位滴定仪；；；；；玻璃复合电极电极。。。。。。

药品
四丁基氢氧化铵(TBAOH)10％水溶液(AR)；；；；；氢氧化钠(AR)；；；；；邻苯二甲酸氢钾(工作基准试剂)；；；；；无水乙醇(AR)。。。。。。
试剂与样品的配置
0.1mol/L的四丁基氢氧化铵尺度滴定溶液。。。。。。
配造：用量筒量取26.3mL四丁基氢氧化铵(分析纯)，，，，，，，，将量筒中的溶液用玻璃棒引流转移到1000mL容量瓶钟祝。。。。。用适量无水乙醇洗涤量简内壁2次～3次，，，，，，，，将洗涤液一并转移到容量瓶中，，，，，，，，要用玻璃棒引流、振荡，，，，，，，，加无水乙醇定容，，，，，，，，先直接加无水乙醇到离刻度线1cm~2cm时改用胶头滴管加无水乙醇至刻度线，，，，，，，，改好瓶塞，，，，，，，，摇匀即可。。。。。。
标定：用100mL烧杯称取邻苯二甲酸氢钾，，，，，，，，称样结束后参与无水乙醇溶液一些，，，，，，，，将待测样品置于滴定台上，，，，，，，，放下电机架，，，，，，，，并调节相宜的搅拌器速度，，，，，，，，使用电位滴定仪进行滴定，，，，，，，，凭据滴定了局，，，，，，，，按下式推算四丁基氢氧化铵尺度滴定溶液的浓度，，，，，，，，单元mol/L。。。。。。

式中：
m——邻苯二甲酸氢钾的质量的正确数值；；；；；
v₁——四丁基氢氧化铵溶液的体积；；；；；
v₂——空缺试验四丁基氢氧化铵溶液的体积；；；；；
M——邻苯二甲酸氢钾的摩尔质量。。。。。。
0.5mol/L氢氧化钠尺度滴定溶液。。。。。。
配造：称取110g氢氧化钠，，，，，，，，溶于100mL无二氧化碳水中，，，，，，，，摇匀，，，，，，，，注入聚乙烯容器中，，，，，，，，密关搁置至溶液清亮。。。。。。用塑料管量取27mL上层清液，，，，，，，，用无二氧化碳的水稀释至1000mL摇匀。。。。。。
标定：称取于105°C~110°C电烘箱中干燥至恒沉的工作基准试剂邻苯二甲酸氢钾3.6g，，，，，，，，加无二氧化碳的水溶化，，，，，，，，加2滴酚酞批示剂(10g/L)，，，，，，，，用配造好的氢氧化钠溶液滴定至溶液呈粉红色，，，，，，，，并维持30s，，，，，，，，同时做空缺尝试。。。。。。
氢氧化钠尺度溶液的浓度，，，，，，，，数值以摩尔每升(mol/L)暗示，，，，，，，，按下式推算：

式中：
m——邻苯二甲酸氢钾的质量的正确数值；；；；；
v₁——氢氧化钠溶液的体积；；；；；
v₂——空缺试验氢氧化钠溶液的体积；；；；；
M——邻苯二甲酸氢钾的摩尔质量。。。。。。

被测样品的造备
取被测样品10mL到滴定杯中，，，，，，，，参与10mL蒸馏水，，，，，，，，每次测定必要同时筹备两个一样的被测样品。。。。。。

滴定分析过程
滴定过程分为三步，，，，，，，，第一步使用TBAOH先测定HNO₃；；；；；第二步使用NaOH测定HNO₃和H₃PO₄；；；；；第三步使用NaOH测定H₂PO₄²⁺和HAc。。。。。。
测定混酸中的硝酸
取被测样品10mL，，，，，，，，参与蒸馏水10mL，，，，，，，，用0.1mol/L的TBAOH通过电位滴定仪滴定混酸中的硝酸，，，，，，，，有一个滴定终点(曲线图有六个突跃) :
TBAOH+HNO₃→NO₃+TBN⁺+H₂O
测定混酸中的磷酸和醋酸0.5mol/NaOH滴定混酸中磷酸和醋酸有两个滴定终点：
HNO₃+H₃PO₄+2OH^-→NO₃^-+H₂PO₄^-+2H₂O
H₂PO₄-+HAC+2OH^-→HPO₄^2-+Ac^-+2H₂O

了局推算
硝酸质量百分含量推算式：

磷酸质量百分含量推算式：

醋酸质量百分含量推算式：

上述三个推算公式中：
C_(TBAOH)——四丁基氢氧化铵尺度滴定液的浓度；；；；；
V₁——四丁基氢氧化铵尺度滴定液的亏损体积数；；；；；
V₂——第一次氢氧化钠尺度滴定液亏损体积数；；；；；
V₃——第二次氢氧化钠尺度滴定液亏损体积数；；；；；
M——各物质的摩尔质量；；；；；
10ml×P——10ml样品的质量。。。。。。


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