技术文章
T/FJAS 006-2024 湿电子化学品 再生光阻剥离液
领域
本文件划定了再生光阻剥离液的技术要求、试验步骤、检验规定及标志、包装、运输和贮存。。。。。。。。
本文件合用于以湿电子化学品格业含光阻剥离液回收液为原料,,,,,,经过提纯的光阻剥离液再出产品(以下简称产品),,,,,,重要用于显示面板造作行业等。。。。。。。。
术语和界说
下列术语和界说合用于本文件。。。。。。。。
湿电子化学品 wet chemicals
湿电子化学品又称超净高纯电子化学品,,,,,,是微电子、光电子湿法工艺(重要蕴含湿法刻蚀、洗濯、显影、剥离等环节)中使用的各类液体化工资料。。。。。。。。
光阻剥离液
一种有机混合物,,,,,,重要用于面板造作行业的光阻剥离,,,,,,重要成分为乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)。。。。。。。。
回收液 Iiquid recycIing
重要成分乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)、废光刻胶、水分、金属杂质等。。。。。。。。
技术要求
产品的质量技术指标应切合表1的要求。。。。。。。。
试验步骤
水分的测定
按 GB/T 6283 的划定进行测定。。。。。。。。
GB/T 6283-2008 化工产品中水分含量的测定 卡尔·费休法(通用步骤)
京都电子KEM 卡尔费休水分测定仪 MKV-710S
http://www.kem-china.com/index.php?_m=mod_product&_a=view&p_id=997
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